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質量流量控制器 SFC5400
針對多種應用的多功能控制器
SFC5400質量流量控制器以優異的精度、長期穩定性和可重復性測量和控制質量流量，覆蓋寬動態測量范圍。SFC5400可高度配置，其外殼由金屬制成。此外，流量控制器可使用各種電氣接口和各種流體連接件，測量50 sccm到200 slm的大流量。傳感器信號可在芯片上直接轉換成100%校準和經溫度補償的數字信號。多氣體校準可存儲在單個器件上。此外，流量控制器還可檢查激活的氣體校準與實際氣體是否匹配。SFC5400的通用性使之成為了工業和醫療應用的理想解決方案。

SFC5400質量流量控制器與所有傳感器產品一樣，依賴創新的CMOSens® 技術，在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件及模擬和數字處理電路，可保證優異的性能。配合材料，SFC5400可實現持久穩定、快速和高度的流量控制。

SFC5400質量流量控制器也提供無閥版本。SFM5400質量流量計與質量流量控制器具有相同性能特性，可用在類似應用當中，SFC5400和SFM5400可組合在一起。在SFM5400網站，您可以找到關于質量流量控制器的更多信息和詳細規格。

對于大批量的項目，我們可根據您的具體要求調整或開發您需要的質量流量控制器。了解更多關于定制解決方案信息。

質量流量控制器 SFC5400

性能參數
超快速氣體流量控制（穩定時間＜100 ms）
超低流量測量時的高精度（＜ 1sccm）
出色的長期穩定性和可靠性
無老化效應
寬動態范圍（量程比1000:1）
多氣體配置
高配置
源于CMOSens®技術的*性價比
數字和模擬接口
靈活機械連接選項：向下安裝、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等。
如有需要，可提供定制版本

應用
分析儀器  （如氣相色譜、質譜、熱分析）
醫療器械  （如呼吸機、麻醉機）
工業過程自動化  （如涂覆、熱處理）
半導體行業  （如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

應用范圍
流量計廣泛應用于工農業生產、國防建設、科學研究對外貿易以及人民生活各個領域之中。在石油工業生產中，從石油的開采、運輸、煉冶加工直至貿易銷售，流量計量貫穿于全過程中，任何一個環節都離不開流量計量，否則將無法保證石油工業的正常生產和貿易交往。在化工行業，流量計量不準確會造成化學成分分配比失調，無法保證產品質量，嚴重的還會發生生產安全事故。在電力工業生產中，對液體、氣體、蒸汽等介質流量的測量和調節占有重要地位。流量計量的準確與否不僅對保證發電廠在運行具有很大的經濟意義，而且隨著高溫高壓大容量機組的發展，流量測量已成為保證發電廠安全運行的重要環節。如大容量鍋爐瞬時給水流量中斷或減少，都可能造成嚴重的干鍋或爆管事故。這就要求流量測量裝置不但應做到準確計量，而且要及時地發出報警信號。在鋼鐵工業生產中，煉鋼過程中循環水和氧氣(或空氣)的流量測量是保證產品質量的重要參數之一。在輕工業、食品、紡織等行業中，也都離不開流量計量。

流量計盡量避開鐵磁性物體及具有強電磁場的設備(如大電機、大變壓器的等)，以免磁場影響傳感器的工作磁場和流量信號。傳感器勺轉換器間的流量信號線和激磁線。然而從雷電故障中損壞零部件的分析，引起故障的感應高電壓和浪涌電流大部分足從控制室電源線路引入的，其他兩條途徑較少。由于電磁流量計測量含有懸浮固相或污臟體的機會遠比其他流量儀表多，出現內壁附著層產生的故障概率也就相對較高。若附著層電導率與液體電導率相近。常見的調試期故障通常由安裝不妥。